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UV曝光機光學 - 裕群光電
曝光機 是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵影像轉移設備,原理是利用紫外線通過光罩、底片等圖案模版,並搭配顯影劑使用,去除晶圓表面的光阻,以形成積體 ...
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