顯微鏡LED曝光系統UTA系列,為不需使用光罩即可以完成曝光Pattern 的投影式曝光設備。 ◎ 使用金相顯微鏡和LED 光源DLP 光機,即可在塗布光阻的基板上進行幾μm投影解析 ...
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