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曝光機光源
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光刻機 - 中文百科知識
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。 ... 常用的紫外光光源是高壓弧光燈(高壓汞燈),高壓汞燈有許多尖銳的光譜線,經過濾光後使用 ...
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「曝光機光源」
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