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曝光機光源
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產業趨勢報告|半導體發展之技術回顧與瓶頸(下)
通常是藉由更換光源來提升設備曝光能力,表1是曝光機技術發展歷程,目前全球有能力研製半導體前段晶片製造用曝光機僅有Nikon、Canon和ASML等三家廠商。
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「曝光機光源」
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