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https://technews.tw/2021/06/10/asml-gen-2-euv/
ASML 第二代EUV 曝光機開發傳瓶頸 - 科技新報
極紫外光曝光機(EUV)目前是先進半導體製程,不論DRAM 或晶圓代工 ... 現階段每台曝光機單價將近1.5 億美元,但ASML 的EUV 曝光機目前出貨都是光源 ...
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