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中華民國九十三年六月版本1.0 - 微奈米光機電系統實驗室

儀器B 曝光機光源 ... 檢查曝光機目前的狀態是否處於關機或開機中並開始填寫實驗記錄. 簿。 2. 如圖一所示，開啟曝光機底下之真空泵浦（pump），以使其能固定光罩.

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