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曝光機光刻機
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光刻機 - Wikiwand
生產集成電路的簡要步驟: ... 其中光刻機就是利用紫外線波長的準分子激光通過模版去除晶圓表面的保護膜的裝置。 一片晶圓可以製作數十個集成電路,根據模版曝光機分為兩種:.
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