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曝光機光刻機
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中国有没有必要举全国之力,去造一台光刻机? - 老虎社区
光刻机 (英文“Mask Aligner”) ,又名掩模对准曝光机,是芯片制造流程中光刻工艺的核心设备。芯片的制造流程极其复杂,我们可以概括为几大步骤:硅片的制备 ...
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