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什么是步进扫描光刻机？国产光刻机与ASML差距多大？ - 网易

对于45nm及以下更高成像分辨率，采用ArF干法曝光方式的光刻机已经无法满足要求了，因此在原来的ArF光刻技术上开发了浸没式光刻技术，也就是将镜头方下表面 ...

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