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台积电EUV光刻机将破50台，5nm晶圆成本曝光 - 电子工程专辑

相较之下，三星可能还不到一半，而英特尔更少，这将令台积电持续维持工艺优势。从EUV 光罩盒的采购量看来也支持这样的说法。 一台EUV光刻机的价格大概是 ...

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