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產業脈動|半導體製程重中之重- 微影技術的突破與創新
半導體晶圓製造的成本架構中,微影製程占了三成以上,其中EUV曝光機在2020年 ... 曝光機中,目前單價最高的是應用在次關鍵層的ArFi曝光機,價格卻預估 ...
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