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LED 顯微曝光系統
使用金相顯微鏡和LED 光源DLP 光機,即可在塗布光阻的基板上進行幾μm投影解析度的小 ... 以及層狀單晶薄膜上形成電極,其價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高。
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