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台積電：晶圓傳送盒清洗機台100%回收熱水再利用 - 聯合報

台積電智能工程中心處長林震賓表示，秉持精益求精的精神，台積公司持續發揮創新想法，透過改造機台並開發新功能，持續提升能源使用效率。

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