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半導體製程設備技術 - 第 167 頁 - Google 圖書結果

(a)晶格不匹配(Lattice Mismatch)在單晶基板表面有方向性地磊晶成長另一種材料稱為 ... 例如ZnSe晶格常數為5.668A,GaAs基板的晶格常數為 5.653A,不匹配率為0.26%;GaN晶 ...

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