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磊晶薄膜應變狀態對光電元件造成的影響

圖一是常見的化合物半導體材料的晶格常數與能隙分布圖，而連結在兩點之間的曲線代表 ... 與GaN中的晶格不匹配高達2.5%，成長AlN/GaN所堆疊成的DBR很容易形成膜的龜裂與 ...

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