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盒晶圆为啥是25片？ 知乎- foup - Ulewo

晶圆载具种类很多，且各有应用，如前开式晶圆传送盒FOUP可用于制造工厂内半导体制程中，前开式晶圆运输盒FOSB可用于制造工厂之间的运输，晶片花篮可用于晶片的清洗等。

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