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TWI471255B - A plastic composition for a wafer / mask carrier ...

... 的載具內，如晶舟盒【Cassette】、晶圓傳送盒【FOUP】、晶圓運輸盒【FOSB】、光罩儲存盒【Mask Package】、光罩傳送盒【Reticle SMIF Pod，RSP】，有效防止晶圓與 ...

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