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晶圆良率Wafer Yield - 芯制造

在集成电路制造中，晶圆良率就是完成所有工艺步骤后测试合格的芯片的数量与整片晶圆上的有效芯片的比值[1]。 最终良率主要由每一步工艺的良率的积组成 ...

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