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晶圓 原理
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技術供應- AOIEA 自動光學檢測設備聯盟
... 技術簡介: 晶圓表面形貌測量系統是利用光偏折原理,由CCD擷取晶圓上的條紋影像,並應用相位移及相位展開技術量測條紋變形量,即可測量出晶圓表面斜率變化及表面形 ...
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