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絕緣層上矽分析及應用 - 明新科技大學圖書館

有太大的差異，除了製程一開始選用的晶圓有所不同外，傳統金氧半元件的製程技術都可以沿用到絕緣. 層上覆矽金氧半元件（Silicon on Insulator，SOI）的製程。

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