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晶圓 原理
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【純屬意外的發明與發現】——矽晶圓氧化層 - 科學棋談
原來是因為燃燒造成氫氣與反應爐中的氧氣結合產生水蒸氣,水蒸氣與矽晶圓表面的矽反應而生成二氧化矽薄膜。他們進一步實驗發現磷和硼無法穿透二氧化矽, ...
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