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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

研磨的. 原理乃藉由一鑄鐵製成之上下層研磨盤，將晶圓盛裝於研磨盤間，並以特. 定粒度與黏性配方的研磨液（Slurry）在研磨盤互相轉動（公轉）並帶動. 晶圓以如行星般自轉， ...

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