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中大以熱能取代電能研究降銅矽鍵合成本 - 華視新聞網

【記者林昕璿綜合報導】晶圓鍵合為使兩片晶圓相互接合的應用技術，傳統是以高溫處理方式，透過熱能使材料接面結合。國立中央大學機械工程學系教授 ...

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