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應變矽技術與晶圓鍵合 - NTU Scholars - 臺灣大學

SOI（Silicon On Insulator）也是目前研究發展的創新技術之ㄧ，SOI以晶圓鍵合為基礎。在晶圓鍵合方面，設計了快熱製程機台的多平面反射體，可以幫助晶圓在快熱製程中受熱 ...

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