1)可实现最大6英寸晶圆级键合; 2)最大键合压力60 kN (13500 lbf) 控压精度:优于±2 %或300 N; 3)压力均匀性:优于±5 %。 4)电压/电流:2000V,最高50mA 5)真空度: ...
確定! 回上一頁