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晶圓鍵合
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硅晶圆直接键合- 挽年_Sonny - 博客园
晶圆 直接键合法是通过化学键合而在两个面之间产生密合的方法。该方法要求晶圆表面足够干净、平坦和光滑,否则会出现未粘合的区域,即所谓的空隙、界面气泡 ...
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