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晶圓鍵合
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晶圆直接键合及室温键合技术研究进展 - 精密成形工程
晶圆 直接键合技术可以使经过抛光的半导体晶圆,在不使用粘结剂的情况下结合在一起,该技术在微电子制造、微机电系统封装、多功能芯片集成以及其他新兴 ...
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