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晶圆临时键合 - icspec

用于临时键合的UV固化材料是种含特殊配方的液体，在UV的照射下，液体中的聚合物会发生交联”。将器件晶圆与载片接触后，UV会透过载片照射到临时键合胶上，从而使其固化。

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