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晶圓鍵合
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中央大學解密晶圓鍵合有助縮短製程擴大應用| 科技 - 中央社
中央大學機械工程系教授李天錫帶領研究團隊進行合成奈米矽晶實驗,意外發現銅與矽的表面鍵合關鍵並非退火溫度,而是電子,為晶圓鍵合學理提出創新觀點, ...
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