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半導體製造業空氣污染管制及排放標準

一、半導體製造業：指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造. 等作業者。 ... 十、污染防制設備削減量及排放削減率之計算公式如下：.

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