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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

主要原. 因為該公司使用化學蝕刻晶圓片做為原材料，該廠僅進行研磨與拋光製. 程，所消耗之能源自然遠小於從多晶矽焙融、拉晶、切割等製程所需之能. 源。在二氧化碳排放方面 ...

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