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晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼? - 品化科技股份有限公司

當蝕刻種源為薄膜所攜著時，晶圓板表面便將引起化學反應，反應後之物質將自表面脫離並循排氣排至外部，藉此進行蝕刻。 乾式蝕刻中，為使能夠獲得與感光圖 ...

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