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V5 晶圓級全自動光學檢測與量測設備 - 倍利科技

檢測 結果可依規格產出KLARF 或SINF 檔案，包含背面缺陷對應晶圓正面的座標資訊。 FAB 自動化支援（OHT + SECS/GEM）; AI ADC 軟體（選配）. 分類: 半導體 ...

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