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KLA突破電子束晶圓缺陷檢測瓶頸，將助EUV光刻機一臂之力

身為全球晶圓檢測技術龍頭的科磊KLA 指出，無論是三維器件結構3D NAND 和DRAM，或是用於邏輯器件的FinFET 和GAA結構，晶圓廠都十分重視傳統的缺陷控制 ...

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