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晶圓缺陷檢測
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讓缺陷無所遁形– 碳化矽元件的缺陷檢測技術 - 知勢
化合物半導體的發展十分依賴智慧製造能力,智慧檢測公司科磊(KLA)主要是 ... 化的晶圓提供非破壞性的缺陷檢測系統,並建有許多不同的檢測技術可檢測 ...
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