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電子束檢測掃描晶圓缺陷 - 自由財經

電子束檢測設備主要是對晶圓進行掃描檢測缺陷，找出缺陷並進而幫助提高良率，因光學檢測解析度有限，約在六十五奈米製程就會遭遇瓶頸，漢微科的電子束 ...

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