因此,確實檢出晶圓在切割製程(Wafer Die-Saw)中所造成的崩裂對於後續封裝製程的良率控制至關重要。 晶圓切割製程中可能造成晶粒邊緣崩裂(Chipping)瑕疵,影響晶片強度甚鉅 ...
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