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電子束檢測- 维基百科，自由的百科全书

電子束檢測（Electrons Beam inspection，簡稱E-beam inspection、EBI），用於半導體元件的缺陷(defects)檢驗，以電性缺陷(Electrical defects)為主，形狀缺陷(Physical ... 利用電子束控制晶圓的表面電位性質。

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