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基於深度學習之晶圓瑕疵落點特徵分析系統 - 國立中山大學

於半導體製程中，隨著元件體積持續縮小，晶圓表面狀況、缺陷大小、形狀. 及類型逐漸成為影響元件產量、效能與可靠性之重要關鍵，晶圓缺陷檢測之分.

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