ER930為一台針對8吋到12吋晶圓進行上下檢測之自動化設備,搭配EFEM傳輸設備可實踐8吋 ... 3D最高精度0.08um; 精准晶圓定位系統; 21項芯片線路缺陷檢測; 14項探針痕缺陷 ...
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