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E1000 化合物半导体缺陷检测设备 - 昂坤视觉

可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）等缺陷，最小可检测缺陷81nm；支持4、6、8晶圆检测， ...

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