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晶圓缺陷管制圖之管制界限探討-以成熟製程晶圓廠缺陷檢測為例

在半導體生產製造上品質檢驗的各項檢測製程，大多使用統計製程管制(Statis-tical Process Control, SPC) 來管制生產規格和產品品質。隨著晶圓製程技術從早期100奈米到 ...

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