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CN103646893B - 晶圆缺陷检测方法 - Google Patents

本发明涉及一种晶圆缺陷检测方法，包括如下步骤：逐次移动晶圆，对晶圆各芯片区以第一扫描分辨率进行第一次缺陷检测；根据第一次缺陷检测获得的缺陷分布信息将晶圆表面 ...

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