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晶圓種類
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3D IC晶圓接合製程技術與設備概述 - 金屬工業研究發展中心
層晶圓的電路傳輸,將會是未來晶圓接合技術研發的目標。 二、晶圓接合技術種類與優缺點. 在熱壓式接合的過程中,晶圓表面接合材料的平坦度及乾淨度相當重要,因此在晶 ...
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