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晶圓種類
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最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)
Characteristics),並達到元件的品質及可靠度。 下頁表列即晶圓濕式清潔法所使用之典型化學藥品與其所相對應所去除之污染物。 污染物. 名稱. 化學溶液的混合. 種類.
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