影響蝕刻速率除了晶格方向與蝕刻液的種類外,尚包括溫度 ... 晶圓方向. ▫ {100}晶圓的蝕刻夾角. >{111}與{110}方向的夾角 ... {100}晶圓的晶面安排與蝕刻停止面.
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