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重摻硼CZ矽晶經模擬CMOS高溫製程晶片內部微觀缺陷的變化 ...
然而重摻硼矽晶圓經過熱處理後,會產生大量的內部缺陷,且內部缺陷在長磊晶的過程中極易延伸生長至磊晶層內,有害於後續的元件製造,因此瞭解重摻硼矽晶片內部微觀缺陷種類 ...
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