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晶圆_百度百科

晶圆 是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。 ... 晶圆表面的冗余物种类比较多，小到几十纳米的微小颗粒，大到几百微米的灰尘，以及前一个工序留下的表面 ...

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