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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

SiC晶圓的主流尺寸一直是150mm (6吋)，每片晶圓能製造的晶片數量不大， ... 摻雜物的種類等因素有關，以厚度300μm的SiC拋光晶圓為例，實測1,064nm雷射 ...

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