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晶圓研磨製程
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雷射輔助碳化矽晶圓快速拋光技術 - 機械工業網
此法大幅降低碳化矽硬度90%以上,並可加速碳化矽晶圓之製程速率約30%,並 ... 晶圓製造(切割、研磨及拋光等)部分,雖有製造廠(環球晶、漢磊及太極 ...
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